ਵਰਣਨ
FZ ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ,ਫਲੋਟ-ਜ਼ੋਨ (FZ) ਸਿਲੀਕਾਨ ਆਕਸੀਜਨ ਅਤੇ ਕਾਰਬਨ ਅਸ਼ੁੱਧੀਆਂ ਦੀ ਬਹੁਤ ਘੱਟ ਗਾੜ੍ਹਾਪਣ ਦੇ ਨਾਲ ਬਹੁਤ ਹੀ ਸ਼ੁੱਧ ਸਿਲੀਕਾਨ ਹੈ ਜੋ ਵਰਟੀਕਲ ਫਲੋਟਿੰਗ ਜ਼ੋਨ ਰਿਫਾਈਨਿੰਗ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਦੁਆਰਾ ਖਿੱਚੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।FZ ਫਲੋਟਿੰਗ ਜ਼ੋਨ ਇੱਕ ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਇੰਗੌਟ ਵਧਣ ਦਾ ਤਰੀਕਾ ਹੈ ਜੋ ਕਿ CZ ਵਿਧੀ ਤੋਂ ਵੱਖਰਾ ਹੈ ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਪੌਲੀਕ੍ਰਿਸਟਲਾਈਨ ਸਿਲੀਕਾਨ ਇੰਗੌਟ ਦੇ ਹੇਠਾਂ ਬੀਜ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਜੁੜਿਆ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਬੀਜ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਅਤੇ ਪੌਲੀਕ੍ਰਿਸਟਲਾਈਨ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਸਿਲੀਕਾਨ ਦੇ ਵਿਚਕਾਰ ਬਾਰਡਰ ਨੂੰ ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਲਈ RF ਕੋਇਲ ਇੰਡਕਸ਼ਨ ਹੀਟਿੰਗ ਦੁਆਰਾ ਪਿਘਲਾ ਦਿੱਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।RF ਕੋਇਲ ਅਤੇ ਪਿਘਲੇ ਹੋਏ ਜ਼ੋਨ ਉੱਪਰ ਵੱਲ ਵਧਦੇ ਹਨ, ਅਤੇ ਇਸਦੇ ਅਨੁਸਾਰ ਇੱਕ ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਬੀਜ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਦੇ ਸਿਖਰ 'ਤੇ ਮਜ਼ਬੂਤ ਹੁੰਦਾ ਹੈ।ਫਲੋਟ-ਜ਼ੋਨ ਸਿਲੀਕਾਨ ਨੂੰ ਇੱਕ ਸਮਾਨ ਡੋਪੈਂਟ ਡਿਸਟ੍ਰੀਬਿਊਸ਼ਨ, ਘੱਟ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧਕਤਾ ਪਰਿਵਰਤਨ, ਅਸ਼ੁੱਧੀਆਂ ਦੀ ਮਾਤਰਾ ਨੂੰ ਸੀਮਤ ਕਰਨ, ਕਾਫ਼ੀ ਕੈਰੀਅਰ ਲਾਈਫਟਾਈਮ, ਉੱਚ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧੀ ਟੀਚਾ ਅਤੇ ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਸਿਲੀਕਾਨ ਨਾਲ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।ਫਲੋਟ-ਜ਼ੋਨ ਸਿਲੀਕਾਨ Czochralski CZ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੁਆਰਾ ਵਧੇ ਹੋਏ ਕ੍ਰਿਸਟਲਾਂ ਦਾ ਇੱਕ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਿਕਲਪ ਹੈ।ਇਸ ਵਿਧੀ ਦੀਆਂ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਦੇ ਨਾਲ, FZ ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਸਿਲੀਕਾਨ ਇਲੈਕਟ੍ਰਾਨਿਕ ਡਿਵਾਈਸਾਂ ਦੇ ਨਿਰਮਾਣ ਵਿੱਚ ਵਰਤਣ ਲਈ ਆਦਰਸ਼ ਹੈ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਡਾਇਡ, ਥਾਈਰੀਸਟੋਰ, IGBT, MEMS, ਡਾਇਓਡ, RF ਡਿਵਾਈਸ ਅਤੇ ਪਾਵਰ MOSFETs, ਜਾਂ ਉੱਚ-ਰੈਜ਼ੋਲੂਸ਼ਨ ਕਣ ਜਾਂ ਆਪਟੀਕਲ ਡਿਟੈਕਟਰਾਂ ਲਈ ਸਬਸਟਰੇਟ ਵਜੋਂ। , ਪਾਵਰ ਡਿਵਾਈਸ ਅਤੇ ਸੈਂਸਰ, ਉੱਚ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਵਾਲੇ ਸੂਰਜੀ ਸੈੱਲ ਆਦਿ।
ਡਿਲਿਵਰੀ
ਪੱਛਮੀ ਮਿਨਮੈਟਲਜ਼ (SC) ਕਾਰਪੋਰੇਸ਼ਨ ਵਿਖੇ FZ ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਐਨ-ਟਾਈਪ ਅਤੇ ਪੀ-ਟਾਈਪ ਕੰਡਕਟੀਵਿਟੀ 2, 3, 4, 6 ਅਤੇ 8 ਇੰਚ (50mm, 75mm, 100mm, 125mm, 150mm ਅਤੇ 200mm) ਦੇ ਆਕਾਰ ਵਿੱਚ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕੀਤੀ ਜਾ ਸਕਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਓਰੀਐਂਟੇਸ਼ਨ <100>, <110>, <111> ਬਾਹਰ ਡੱਬੇ ਵਾਲੇ ਡੱਬੇ ਵਾਲੇ ਫੋਮ ਬਾਕਸ ਜਾਂ ਕੈਸੇਟ ਦੇ ਪੈਕੇਜ ਵਿੱਚ As-cut, Lapped, etched ਅਤੇ ਪਾਲਿਸ਼ ਦੀ ਸਤਹ ਫਿਨਿਸ਼ ਦੇ ਨਾਲ।
ਤਕਨੀਕੀ ਨਿਰਧਾਰਨ
FZ ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰਜਾਂ ਵੈਸਟਰਨ ਮਿਨਮੈਟਲਜ਼ (SC) ਕਾਰਪੋਰੇਸ਼ਨ ਵਿਖੇ ਅੰਦਰੂਨੀ, n-ਟਾਈਪ ਅਤੇ ਪੀ-ਟਾਈਪ ਕੰਡਕਟੀਵਿਟੀ ਦਾ FZ ਮੋਨੋ-ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ 2, 3, 4, 6 ਅਤੇ 8 ਇੰਚ ਵਿਆਸ (50mm, 75mm, 100mm) ਦੇ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਆਕਾਰਾਂ ਵਿੱਚ ਡਿਲੀਵਰ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ। , 125mm, 150mm ਅਤੇ 200mm) ਅਤੇ <100>, <110>, <111> ਵਿੱਚ 279um ਤੋਂ ਲੈ ਕੇ 2000um ਤੱਕ ਮੋਟਾਈ ਦੀ ਵਿਆਪਕ ਰੇਂਜ, ਫੋਮ ਬਾਕਸ ਜਾਂ ਕੈਸੇਟ ਦੇ ਪੈਕੇਜ ਵਿੱਚ ਜਿਵੇਂ-ਕੱਟ, ਲੈਪਡ, ਐਚਡ ਅਤੇ ਪਾਲਿਸ਼ ਕੀਤੀ ਗਈ ਸਰਫੇਸ ਫਿਨਿਸ਼ ਦੇ ਨਾਲ ਸਥਿਤੀ। ਬਾਹਰ ਡੱਬਾ ਬਕਸੇ ਦੇ ਨਾਲ.
ਨੰ. | ਇਕਾਈ | ਮਿਆਰੀ ਨਿਰਧਾਰਨ | ||||
1 | ਆਕਾਰ | 2" | 3" | 4" | 5" | 6" |
2 | ਵਿਆਸ ਮਿਲੀਮੀਟਰ | 50.8±0.3 | 76.2±0.3 | 100±0.5 | 125±0.5 | 150±0.5 |
3 | ਸੰਚਾਲਕਤਾ | N/P | N/P | N/P | N/P | N/P |
4 | ਸਥਿਤੀ | <100>, <110>, <111> | ||||
5 | ਮੋਟਾਈ μm | 279, 381, 425, 525, 575, 625, 675, 725 ਜਾਂ ਲੋੜ ਅਨੁਸਾਰ | ||||
6 | ਪ੍ਰਤੀਰੋਧਕਤਾ Ω-ਸੈ.ਮੀ | 1-3, 3-5, 40-60, 800-1000, 1000-1400 ਜਾਂ ਲੋੜ ਅਨੁਸਾਰ | ||||
7 | RRV ਅਧਿਕਤਮ | 8%, 10%, 12% | ||||
8 | TTV μm ਅਧਿਕਤਮ | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 |
9 | ਕਮਾਨ/ਵਾਰਪ μm ਅਧਿਕਤਮ | 30 | 30 | 30 | 30 | 30 |
10 | ਸਰਫੇਸ ਫਿਨਿਸ਼ | ਜਿਵੇਂ-ਕੱਟ, L/L, P/E, P/P | ||||
11 | ਪੈਕਿੰਗ | ਅੰਦਰ ਫੋਮ ਬਾਕਸ ਜਾਂ ਕੈਸੇਟ, ਬਾਹਰ ਡੱਬੇ ਦਾ ਡੱਬਾ। |
ਚਿੰਨ੍ਹ | Si |
ਪਰਮਾਣੂ ਸੰਖਿਆ | 14 |
ਪਰਮਾਣੂ ਭਾਰ | 28.09 |
ਤੱਤ ਸ਼੍ਰੇਣੀ | ਧਾਤੂ |
ਸਮੂਹ, ਮਿਆਦ, ਬਲਾਕ | 14, 3, ਪੀ |
ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਬਣਤਰ | ਹੀਰਾ |
ਰੰਗ | ਗੂੜਾ ਸਲੇਟੀ |
ਪਿਘਲਣ ਬਿੰਦੂ | 1414°C, 1687.15 ਕੇ |
ਉਬਾਲਣ ਬਿੰਦੂ | 3265°C, 3538.15 ਕਿ |
300K 'ਤੇ ਘਣਤਾ | 2.329 ਗ੍ਰਾਮ/ਸੈ.ਮੀ3 |
ਅੰਦਰੂਨੀ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧਕਤਾ | 3.2E5 Ω-ਸੈ.ਮੀ |
CAS ਨੰਬਰ | 7440-21-3 |
EC ਨੰਬਰ | 231-130-8 |
FZ ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਸਿਲੀਕਾਨ, ਫਲੋਟ-ਜ਼ੋਨ (FZ) ਵਿਧੀ ਦੀਆਂ ਸਰਵੋਤਮ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਦੇ ਨਾਲ, ਇਲੈਕਟ੍ਰਾਨਿਕ ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੇ ਨਿਰਮਾਣ ਵਿੱਚ ਵਰਤਣ ਲਈ ਇੱਕ ਆਦਰਸ਼ ਹੈ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਡਾਇਡ, ਥਾਈਰੀਸਟੋਰ, IGBTs, MEMS, diode, RF ਡਿਵਾਈਸ ਅਤੇ ਪਾਵਰ MOSFETs, ਜਾਂ ਉੱਚ-ਰੈਜ਼ੋਲੂਸ਼ਨ ਲਈ ਸਬਸਟਰੇਟ ਵਜੋਂ। ਕਣ ਜਾਂ ਆਪਟੀਕਲ ਡਿਟੈਕਟਰ, ਪਾਵਰ ਡਿਵਾਈਸ ਅਤੇ ਸੈਂਸਰ, ਉੱਚ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਵਾਲੇ ਸੂਰਜੀ ਸੈੱਲ ਆਦਿ।
ਪ੍ਰਾਪਤੀ ਸੁਝਾਅ
FZ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ